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可編程精密勻膠機
型號:HC150PE
HC150PE勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。
特點:
l 設計緊湊,可放置在手套箱內。
l HDPE內腔與不銹鋼機身可分離,便于清潔和移動。
l 4.3英寸彩色觸屏控制,簡單易用,運行狀態實時顯示。
l 不銹鋼外殼,美觀耐腐蝕。
l 經CNC一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔;
l 內腔壁采用*的凹面設計,有效防濺;
l 高級PLC全自動程序控制,可編程;
l 帶真空度安全互鎖檢測功能;
l 可設置用戶密碼保護功能;
l 配置可調基座,方便調節水平;
l 帶一路自動點膠接口,可升級自動點膠系統;
技術參數:
l 適用晶元尺寸范圍:?10~150mm;
l 旋涂速度:100~12000rpm;
l 轉速分辨率:1rpm;
l 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
l 最大旋涂時間:3000s;
l 旋涂時間精度:0.1s;
l 內腔直徑212mm,內腔采用*的凹面防濺設計;
l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
l 電源輸入:AC200-230V
設備外形尺寸:長X寬X高:310X254X250mm
小型程控勻膠機
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